型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB:1．概述：本设备为浸泡式清洗机，用于石英材、扩散炉等设备的石英管，碳化硅管清洗。⑴整台设备采用德国磁白色聚丙板（PP）搭配德国焊接设备焊接而成。⑵设备分为两个清洗槽，内槽为酸洗槽，外槽为水洗槽，内外槽均装在隔离槽内，与底部和周围隔离 ⑶隔离槽底部倾斜式，最低处设有排水管，隔离槽后设有排气装置。⑷清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
液晶腐蚀减薄设备
该设备型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB:是我们根据液晶市场需要研制开发的一种先进的液晶腐蚀减薄设备。1.可靠的控制系统及可视入机界面2.可根据用户要求提供非标工作盘3.可设置和存储工艺菜单4.高压去离子水泵5.体积小6.清洗后高纯氮气吹干过程7.内置真空发生器与自动排水装置8.对液晶片定位框架的安全锁定9.二氧化碳防静电装置（可选）10.兆声发生源（可选）. 有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
磨片清洗台
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB:设备用于1-6"硅片的半导体清洗过程中，去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。 1.设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道，全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。 4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。 5.人机界面为触摸屏，方便直观。 6.除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成，适用于连续批量生产。 7.工作区设净化装置，内设高效过滤器，满足工作区净化要求（1000-100级，10级为特制） 8.界面中有故障报警、安全保护、工艺时序号等功能。 （8）主要指标： ：18000×1600×2000（长×宽×高） /2.适用硅片：1-6" /3.装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）/4.工作区洁净度：100级 /5.槽间工艺转换时间：Tmax≤3.5s有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
磷扩散清洗台
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB:⑴整机采用磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行可靠，是半导体石英晶片理想的清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。⑶工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。⑷除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。⑸机台内设高效过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100级，10级为特级）。⑹人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
硼扩散清洗台
硅片切片后清洗设备: 型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB清洗机箱体采用德国磁白PP板（超净化车间用），清洗机分为骨架、清洗机本体、槽体部分、通风部分、管路部分、电器部分，清洗机内还配有照明灯管和可调节高度地脚的活动脚轮，外观美观实用有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
光刻腐蚀清洗机
清洗机设备型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB主要功能部件有：箱体部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超声/兆声槽、石英管滚动系统、喷淋系统、机械手部分、贮藏柜、排风装置、给（排）水管路、抽风系统和电气控制系统等。采用全自动控制式,通过触摸屏设定参数来选择清洗工艺,操作便捷. 有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
半导体溅射膜片清洗设备:
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB⑴超声清洗，加热清洗为单槽定时控制，到时给予结束提示音。⑵工艺过程：上料→支离子水超声清洗→去离子水加热清洗→去离子水冲洗→ 下 料2．结构特点：本设备为柜体式，操作面带有透明门窗。⑴槽体材料为德国进口聚丙烯（磁白色PP板），焊口采用SS外包5mm厚德国磁白色PP板，外型美观实用。⑵设备超声，加热清洗时间由定时器控制。⑶加热槽装有温控表（pompon）和传感器。⑷每个清洗槽互不影响，超声、冲洗清洗槽的上给水（冲洗清洗槽配有热水）、下排水为手动方式。⑸配有可调节式的排风装置。⑹配有美国进口氮气枪。 ⑺电控部分采用密封保护方式配有紧急停机及报警装置。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
衬底清洗机
清洗机设备型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB主要功能部件有：箱体部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超声/兆声槽、石英管滚动系统、喷淋系统、机械手部分、贮藏柜、排风装置、给（排）水管路、抽风系统和电气控制系统等。采用全自动控制式,通过触摸屏设定参数来选择清洗工艺,操作便捷. 有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
金属腐蚀台
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB⑴超声清洗，加热清洗为单槽定时控制，到时给予结束提示音。⑵工艺过程：上料→支离子水超声清洗→去离子水加热清洗→去离子水冲洗→ 下 料2．结构特点：本设备为柜体式，操作面带有透明门窗。⑴槽体材料为德国进口聚丙烯（磁白色PP板），焊口采用SS外包5mm厚德国磁白色PP板，外型美观实用。⑵设备超声，加热清洗时间由定时器控制。⑶加热槽装有温控表（pompon）和传感器。⑷每个清洗槽互不影响，超声、冲洗清洗槽的上给水（冲洗清洗槽配有热水）、下排水为手动方式。⑸配有可调节式的排风装置。⑹配有美国进口氮气枪。 ⑺电控部分采用密封保护方式配有紧急停机及报警装置。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
手动背面去胶机
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB⑴整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行可靠，是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。⑶工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。⑷除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。⑸机台内设高效过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100级，10级为特级）。⑹人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/13910297918/耿彪
|
供求商机详细资料 发布时间:2008-3-2 16:08:04 
