半导体器件设备-硅片清洗甩干机 型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB一、 功能: 1. 把工件放入硅片盒中,再放在旋转支架上。 2. 双手按住启动按钮,油缸自动盖上顶盖, 3. 油缸上的感应门锁到位后,显示门锁住。顶盖的喷杆开始喷纯净水,外筒排水,筒内不允许有积水,同时旋转支架开始转动,目前转速为低速(转速一),且可以人为的设定。(目前工艺:200转/分,2分钟)。清洗的时间可以根据需要调整。 4. 清洗结束,顶部的喷杆停止喷,开始喷加热的氮气,边喷边加热。加热的温度分为高温和低温。加热的时间可以人为设定,油浴炉的温度为110度,最高温度设定可以显示器上修改。(目前工艺:500转/分,6分钟)。加热采用油浴炉加热,加热介质为乙二醇,加热温度控制在120度以下。辅助加热系统热量足够保证顶盖打开时没有水滴下。 5. 烘干后,自动关闭电源,电机停转。油缸自动打开门盖,取出硅片盒,拿出工件检验。 6. 整个洗和甩干的时间控制在8分钟内完成。二 电气系统: 1)采用变频器调速,使速度变换稳定。 2)采用PLC控制使所有的操作可靠,所有的故障都一目了然。 3)程序设计可靠,能够满足上述功能要求,并且有报警提示。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/13910297918/耿彪 清洗硅片时的倒片机 型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB本公司可以设计制造半导体清洗工艺过程中,清洗硅片时的倒片机,该设备可在倒(槽间倒片用)二篮、三篮、四篮、多篮等硅片时使用。设备大大提高了硅片清洗效率。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/13910297918/耿彪 半导体清洗设备-砷化镓清洗设备 型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB:适用于2″~8″硅片清洗清洗机箱体采用德国磁白PP板(超净化车间用),清洗机分为骨架、清洗机本体、槽体部分、通风部分、管路部分、电器部分,清洗机内还配有照明灯管和可调节高度地脚的活动脚轮,外观美观实用。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/13910297918/耿彪 半导体分立器件清洗设备-外延钟罩清洗机 型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB:⑴本设备适用于2″~8″石英炉管的清洗,同时也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物。⑵酸水清洗同槽先后进行,为滚动浸泡式清洗,人工装、取工件。⑶根据客户要求可同时清洗两种规格的石英炉管。⑷其结构主要由清洗槽、溢流排放槽、本体、工件支撑及旋转驱动机构、排风系统、给排水系统、及电器部分待构成。⑸本体采用德国磁白PP板搭配德国焊接设备焊接而成。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/13910297918/耿彪 液晶玻璃清洗设备 型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB:⑴整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成,本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观,耐酸性能好,操作方便,运行可靠,是液晶玻璃理想的清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。⑶工艺过程全自动,机械手在槽间转换靠PLC来控制,美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。⑷除装片和取片需人工外,其余工艺动作均由机械手来实现,适用于连续批量生产。⑸机台内设高效过滤器,满足净化工作区工作(1000级~100级,10级为特级)。⑹人机界面为触摸屏有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/13910297918/耿彪 电子器件清洗设备
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