半导体器件清洗设备-石英管腐蚀机
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设备为浸泡使清洗机,用于扩散炉等设备的石英管、碳化硅管清洗。 1.本机设有内外两个清洗槽,内槽为酸洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装在隔离槽内,与底部和周围隔离。 2.隔离槽底部倾斜,最低处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。 3.清洗槽左右两端设有纯水喷枪和氮气喷枪。
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